工业废气污染的处理方式
热力燃烧法与催化燃烧法：在高温下恶臭物质与燃料气充分混和，实现完全燃烧；主要适用于处理高浓度、小气量的可燃性气体。
吸附法：利用吸附剂的吸附功能使污染物物质由气相转移到固相，主要适用于处理低浓度，高净化要求的恶臭气体。
酸碱废气中和法是对工业废气中的酸、碱性腐蚀性气体采用液体吸收而达到排放标准的方法。
低温等离子体技术：阻挡放电过程中，等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，Z终转化为CO2和H2O等物质，而达到净化废气的目的，适用范围广，净化效率高，尤其适用于其它方法难以处理的多组分恶臭气体，如化工、医药等行业。
吸收法：利用臭气中某些物质和药液产生化学反应的特性，去除某些臭气成分，适用于处理大气量、高中浓度的臭气。

化工厂废气的危害
在化工生产中排出的有毒有害的气体往往含有多种污染物，它物理和化学性质复杂，毒性也不尽相同，如不治理将严重污染环境和影响人体健康。

半导体废气处理方法
半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物，分离和处理难度比较大。

喷漆厂废气处理方法
目前，国内对喷漆废气处理有很多种方法，常用的有水喷淋法，冷凝法，氧化法，等离子法，植物液气相化学反应，催化燃烧法，活性炭吸附。